精密機(jī)械加工是在嚴(yán)格控制的環(huán)境條件下，使用精密機(jī)床和精密量具和量儀來實現(xiàn)的。加工精度達(dá)到和超過 0.1微米稱超精密機(jī)械加工。位置所依據(jù)的基準(zhǔn)稱為設(shè)計基準(zhǔn)。在工序圖上用來確定本工序被加工表面加工后的尺寸、位置所依據(jù)的基準(zhǔn)稱為工序基準(zhǔn)。形狀精度用來限制加工表面宏觀幾何形狀誤差，位置精度用來限制加工表面與其基準(zhǔn)間的平行度、垂直度、同軸度等相互位置誤差。

工藝過程又可分為鑄造、鍛造、沖壓、焊接、機(jī)械加工、裝配等工藝過程，機(jī)械制造工藝過程一般是指零件的機(jī)械加工工藝過程和機(jī)器的裝配工藝過程的總和，其他過程則稱為輔助過程，例如運輸、保管、動力供應(yīng)、設(shè)備維修等。生產(chǎn)過程的內(nèi)容十分廣泛，現(xiàn)代企業(yè)用系統(tǒng)工程學(xué)的原理和方法組織生產(chǎn)和指導(dǎo)生產(chǎn)，將生產(chǎn)過程看成是一個具有輸入和輸出的生產(chǎn)系統(tǒng)。機(jī)械加工廠工藝過程又可分為鑄造、鍛造、沖壓、焊接、機(jī)械加工、裝配等工藝過程，機(jī)械制造工藝過程一般是指零件的機(jī)械加工工藝過程和機(jī)器的裝配工藝過程的總和，其他過程則稱為輔助過程，例如運輸、保管、動力供應(yīng)、設(shè)備維修等。

加工時工件定位所用的基準(zhǔn)，稱為定位基準(zhǔn)。作為定位基準(zhǔn)的表面（或線、點），在道工序中只能選擇未加工的毛坯表面，這種定位表面稱粗基準(zhǔn).在以后的各個工序中就可采用已加工表面作為定位基準(zhǔn)，這種定位表面稱精基準(zhǔn)。微機(jī)械由于具有能夠在狹小空間內(nèi)進(jìn)行作業(yè)，而又不擾亂工作環(huán)境和對象的特點，在航空航天、儀器、生物等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用潛力，并成為納米技術(shù)研究的重要手段，因而受到高度重視并被列為21世紀(jì)關(guān)鍵技術(shù)。應(yīng)使工藝過程有較高的生產(chǎn)加工效率，通過加工得到成品能盡快正常使用；三是應(yīng)設(shè)法降低制造成本；四是要能夠減輕人工作業(yè)強(qiáng)度，以及還能夠讓加工安全進(jìn)行。